型号：VeriFire PE；生产厂家：美国ZYGO公司。

该激光干涉仪不仅具有常规移相(PSI)测量模式，而且能够提供常规及高精度的光学表面面形的测量；该系统还具有FlashPhase动态测量模式，可实现在恶劣的环境条件下（长腔长，振动，气流影响等）对光学表面面形变化进行动态测量。

技术指标

光束直径：4英寸，可扩展至150mm；
光源波长：632.8nm；
相机分辨率：640×480像素。